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稀有气体 |
名称 |
纯度 |
杂质含量 |
执行标准 |
Ar |
99.999~99.9996% |
5N级N2≤5,O2≤2, H2≤1, 总碳含量≤2,H2O≤4 |
GB/T 10624-1995 |
He |
≥99% |
Ne(H2),O2(Ar), N2, CH4总含量≤1%,H2O露点℃-43 |
GB/T 4844.1.1995 |
99.99~99.995% |
4N级Ne≤40,O2(Ar)≤5, N2≤25, Co≤1, CO2≤1,CH4≤1, H2O≤30 |
GB 4844.2.1995 |
99.999~ 99.9996% |
5N级Ne≤4,H2≤1, O2(Ar)≤1, N2≤2, Co≤0.5, CO2≤0.5,CH4≤0.5, H2O≤3 |
GB/T 4844.3.1995 |
Ne |
99.99% |
N2≤100, CO2≤1,CH4≤1 |
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99.999% |
N2≤3, He≤10, O2≤1, CO2≤0.5, CO≤1.0, H2O≤1.0, THC≤1.0 |
Q/SGYQ001-2001 |
Kr |
99.95% |
Xe≤50, N2≤1.5 , O2+Ar≤5, H2≤2, CO2≤1, CO≤1, CH4≤1 , H2O≤3 |
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99.99% |
N2≤20, O2+Ar≤5, H2≤2, 总碳≤3,H2O≤3,Xe≤50, 总杂质含量≤100 |
GB/T 5829-1995 |
99.995% |
N2≤10, O2+Ar≤5, H2≤1, 总碳≤2,H2O≤3,Xe≤30, 总杂质含量≤50 |
GB/T 5829-1995 |
99.999% |
N2≤3, O2+Ar≤2, H2≤0.5, 总碳≤1,H2O≤2.6,Xe≤4, 总杂质含量≤10 |
GB/T 5829-1995 |
Xe |
99.95% |
CO2≤5, Co≤5, CH4≤5, N2O≤5, H2O≤5 |
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99.99% |
N2≤20, O2+Ar≤5, H2≤2, 总碳≤3,H2O≤3,Kr≤50,N2O≤1, 总杂质含量≤100 |
GB/T 5828-1995 |
99.995% |
N2≤10, O2+Ar≤4, H2≤1, 总碳≤2,H2O≤3,Kr≤30,N2O≤1, 总杂质含量≤50 |
GB/T 5828-1995 |
99.999% |
N2≤1, O2+Ar≤2, H2≤0.5, 总碳≤1,H2O≤2.5,Kr≤4, N2O≤0.5, 总杂质含量≤10 |
GB/T 5828-1995 |
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电子气体 |
品种名称 |
化学式 |
纯度(%) |
充装容器(L) |
充装量(Kg) |
氨气 |
NH3 |
99.999 |
44、16、8 |
22.7、6.8、4.1 |
99.9997 |
砷烷 |
AsH3 |
99.999 |
50、25、10、5 |
22.7、11.3、4.5、2.3 |
99.9999 |
三氯化硼 |
BCl3 |
99.99 |
44、16 |
36.3、10 |
99.999 |
三氟化硼 |
BF3 |
99.99 |
44、16、8 |
27.2、9.1、4.5 |
99.995 |
氯气 |
Cl2 |
99.99 |
49、44、16、8 |
45.4、40.8、18.1、4.5 |
99.999 |
二氯二氢硅 |
SiH2Cl2 |
99.0 |
44、16 |
40.9、10 |
99.9 |
三氟甲烷 |
CHF3 |
99.995 |
44、16 |
31.8、5.0 |
99.999 |
氯化氢 |
HCl |
99.995 |
49、44、16 |
31.7、27.2、9.1 |
99.9995 |
氧化亚氮 |
N2O |
99.97 |
44、16、8 |
27.2、9.0、4.5 |
99.9998 |
三氟化氮 |
NF3 |
99.7 |
44、17 |
20、7.7 |
99.995 |
氯硅烷 |
SiCl4 |
99.94 |
210MC、38 |
272、45.4 |
硅烷 |
SiH4 |
99.999 |
49、44 |
14、10 |
99.9995 |
磷烷 |
PH3 |
99.999 |
44、16、8、3 |
13.6、4.1、2.3、0.7 |
99.9998 |
99.9999 |
六氟化硫 |
SF6 |
99.99% |
44、47 |
52 |
99.999% |
四氟化碳 |
CF4 |
99.999% |
44 |
31.8 |
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